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電子級RO+UF超純水系統

產品編號:LST-15TUPWE

1.水量

     

Point of Use

15M3/hr

 

2. 超純水水質要求

 

阻抗值

≥17.5MΩ-cm(25˚C)

Particles(≥ 0.2μm)

≤ 10 pcs/ml

TOC

≤ 88 ppb

Na

≤ 3 ppb

Cr

≤ 3 ppb

Fe

≤ 3 ppb

Ca

≤ 3 ppb

F

≤ 3 ppb

Cl

≤ 3 ppb)

Temperature

23 ±2˚C

Pressure

3.5 ± 0.5 Kg/cm²