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半導體Particle超純水系統

產品編號:LST-500UPW
半導體Particle超純水系統
導電度 18.25MΩ-cm@at25℃,總菌落數:≦20cfu/ml
粒狀物數 < 10PC/0.2um
金屬離子:K、Pb、Ag、Ln、Mg、Ca、Al、Ni、Na、Cr、Fe、Co、Ga、Zn ≦0.05ppb

A. 型式 : LST-500UPW
B. 造水能力 : 500L/HR,
C. 去除率 : 96%
D. 純水回收率 : 50%
E. 前置精密過濾器:BP 20” 5UM-1支
F. 前置自動逆洗活性碳過濾器:35L -1支
G. 前置自動逆洗軟水樹脂過濾器:35L-1支
H. 0.2UM過濾器 20”-2支
I. EDI 250L 光感應式流量計 ,電流條正器
J. AIR VENT(PES) -1個 , 製造室POU使用點終端濾心*2 含COA報告
K 超純水樹脂DI:50L*2
L TOC-UV-LAMP*2PC
M. UF超濾過濾器 RNase Free純水過濾膜
N. 主要另件:
RO膜:TFC-4040 x2PCS
RO壓力容器: SUS304端蓋SUS304 1支裝-1支
泵浦 : 原水加壓汞-1台 純水加壓汞1台 循環加壓泵-1台
O. PLC全自動控制操作盤 :
(1) RO標準操作控制
(2) 出水導電度計us MΩ 共三組
(3) 水質不良警示、自動造水,可切換定時循環、手動沖洗
(4) RO主機鋼架 : SUS-304
  • 為何以 RO+EDI 作為超純水進水是最好的選擇?
    一次純水的水質對超純水的純化結果有很大的影響。做為超純水系統的供給水最好不要使用離子交換樹脂水或是蒸餾水,其原因並不只是因為會使超純水系統的性能無法完全發揮,並且還會降低純化管匣 (Cartridge) 與過濾膜的使用壽命。 利用逆滲透膜 (RO) 進行水質純化時,逆滲透膜的功能會受到自來水(原水)水質(因地區的不同、季節的變化等)很大的影響,因為逆滲透膜是以比例原則來去除污染物,自來水的水質越差,逆滲透純化後的水質就越差。所以,以 RO+EDI 純水做為超純水系統的供給水是最合適的,如此便可得到水質穩定的超純水。 ')}

    電子式連續去離子裝置 (EDI: Electric De-Ionization) 的工作原理及優缺點分析
    EDI是由陰陽電極、離子通透膜與少量的離子交換樹脂所組成。離子交換樹脂分別與陽離子通透膜及陰離子通透膜形成夾層式的結構,由直流電導通位於兩端的電極,以連續方式有效的去除水中離子。當電流一導通,原水中的離子就趨向陽極或是陰極上。此時,陰、陽離子通透膜會分別使電子呈選擇性的通過,形成離子濃縮層與離子去除層,也就是在同時通水及通電情況下產生離子流動,並使濃縮層離子以廢水方式排放。 其中,離子交換樹脂扮演著讓離子容易向電極移動的良導體,以及促使吸附於官能基上的離子可以進一步的運送至離子通透膜的角色,如此,官能基便不會飽和,因而能夠長時間、穩定地去除離子。 此外,根據已發表的文獻,電的流動也具有抑菌的效果。所以,EDI連續離子交換樹脂能夠彌補單獨使用離子交換樹脂的缺點,除了不會因為官能基飽和造成水質變化,以及發生有機物質、微生物污染等問題之外,並可以有效的去除無機陰、陽離子。

    p15
    優點: 缺點:
    • 無機離子的去除能力優良。
    • 能長期間維持去除性能。
    • 不需要進行離子交換樹脂的。
    • 為了避免性能降低與避免離子交換樹脂/離子交換膜受到汚染,進水需要有良好的前處理。



     
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