隨著製程精密度與安全度要求之提高，超純水之純度與良好之水質
管理已成為產業競爭力重要之一環。為確保生產製程之品質，超純水之水質必須能
穩定符合各類製程所定之各項水質標準。超純水之生產經常是各種不同單元之組合
技術，而各種技術單元之組合，對於水質控制與管理之特性將有所不同。因此，如
何由水質管理面分析選用適當之水質處理技術，將成為高效能超純水系統設置之關鍵。